PLD는 진공 챔버 내부의 원 표적에 초점을 맞춘 고출력 펄스 레이저 빔을 활용하는 또 다른 물리적 기상 증착(PVD) 기법입니다. 고출력 레이저 빔을 통해 증발된 물질은 표적을 마주하는 기판(실리콘 웨이퍼 등)에 박막으로 증착됩니다. 이 과정은 초고진공 또는 산소와 같은 배경 가스가 있는 상태에서 발생할 수 있으며, 산화 물질을 증착할 때 일반적으로 사용됩니다.