kSA RateRat는 반투명 박막의 실시간 박막 공정 제어 및 측정을 위한 소형사이즈에 사용하기 쉬운 광학 계측 장치입니다. 이 장치는 광학 반사 곡선에 맞는 최소 제곱값으로부터 가져온 박막의 광학 상수를 지속적으로 업데이트하는 당사 알고리즘을 사용합니다.

kSA RateRat는 최소 600 Å 크기의 증착 물질로 증착률, 층 두께 및 광학 상수(n 및 k)를 결정합니다. kSA RateRat는 다른 레이저/LED 파장(405, 532, 658, 950, 1050nm) 및 소프트웨어 통합 기능을 포함한 다양한 애플리케이션과 소재의 필요를 충족하는 많은 옵션을 가지고 있습니다. kSA RateRat는 MBE, MOCVD, 스퍼터링 및 PLD를 포함한 모든 유형의 증착법과 호환됩니다. 유전체 및 반도체 박막과 코팅이 높은 정밀도로 증착되어야 하는 연구실, 공정 시설 및 산업 제조라인 모두 이 장비로부터 좋은 평가 받을 수 있습니다.

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