웨이퍼 곡률, 휨 높이 및 기울기 특성화

• 표준 웨이퍼 크기: 2인치, 3인치, 100mm, 150mm, 200mm 및 300mm 웨이퍼/샘플은 거울같거나 유사한 표면 품질이어야 합니다(샘플에서 반사 상태를 볼 수 있음).
• 맞춤형 사이즈를 측정할 수 있지만 맞춤형 샘플 홀더의 가공이 필요할 수 있음(견적 별도)
• 스캔 유형:
  • 라인 스캔
  • 선택 가능한 영역 스캔, 5mm 가장자리 제외하고 최대 전체 웨이퍼
• 스캔 해상도 : 1um
• 곡률 및 휨 높이의 최대 반경은 표본 크기에 따라 달라짐. 곡률 반경이 10m 이상인 경우 웨이퍼 직경 300mm까지 전체 면적 스캔을 수행할 수 있음.
• 곡률 해상도 : <= 2e-5 (1/m)
• 휨 높이 해상도: <= 0.01um
• 기울기 해상도: <= 0.01 arcsec