제품

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k-Space는 공정을 개선하고 수익성을 높이기 위해 설계된 현장, 인라인 및 현장 외 박막 계측 도구의 선도적 인 제조업체입니다. 당사의 박막 계측 도구는 MBE, MOCVD, PLD, PVD, 스퍼터링 및 증발을 포함한 거의 모든 박막 증착 공정과 생산을 모니터링하는 데 사용됩니다. 당사의 제품은 웨이퍼 및 필름 온도, 박막 응력 및 변형, 웨이퍼 곡률, 휨 및 기울기, 표면 거칠기 및 품질, 필름 두께와 같은 수많은 중요한 매개 변수의 비접촉, 비 침습적 측정을 위해 광학 이미징 기술을 활용합니다. 증착 속도, 광학 밴드 갭, 원자 간격 및 기타 맞춤형 비접촉 측정.

k-Space Associates, Inc.의 제품은 2000년부터 한국에서 사용되어 왔습니다. 실험 목적으로 사용된 k-Space Associate Inc.의 계측 장비를 포함한 많은 논문이 있습니다. 이 논문들은 서울대학교 반도체 공동연구소, 서울대, 전북대, 카이스트, 지스트, 한국과학기술연구원, 한국표준과학연구원 등 국내 기관·대학 연구진이 펴낸 것입니다.

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