MOCVD fab은 웨이퍼 캐리어에서 스팟 온도 측정을 수행하여 균일한 온도 프로필을 달성하기 위해 히터 존을 조정합니다.

Veeco K465i 및 EPIK700 MOCVD 장비와 같이 슬릿 스타일의 광학 접근성을 가진 반응기의 경우, kSA ScanningPyro는 웨이퍼 캐리어와 웨이퍼의 고해상도 전체 온도 맵을 생성할 수 있는 기능을 제공함으로써 공정 최적화 수행 능력을 최대한 향상시킬 수 있습니다.

kSA ScanningPyro는 듀얼 스캐닝 파이로미터 헤드에서 동시 온도 측정을 결합하여 Veco K465i 증착쳄버에서 중앙에서 바깥쪽 가장자리에 이르는 전체 웨이퍼 캐리어를 2분 이내에 맵핑합니다. 사용자는 웨이퍼 캐리어 맵, 선택 가능한 라인 스캔 및/또는 전체 스캔의 하위 세트를 수집합니다. 당사 kSA 소프트웨어를 사용하여 간단하게 분석을 수행하여 문제 영역을 식별합니다. 사용자는 이 정보를 통해 공정 및 하드웨어 조정을 더 간단하게 할 수 있고, 나아가 제품 성능을 향상시킬 수 있습니다.

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