높은 장치 수율 및 성능에 도달하기 위해서는 필름 증가 시 정확한 웨이퍼 온도 측정 및 제어가 매우 중요합니다. 이 제어를 위해서는 정확한 실시간 측정이 필요합니다. k-Space는 다양한 방법으로 웨이퍼 온도 및/또는 필름 온도를 측정하는 5가지 실시간 박막 필름 계측 도구를 제공합니다. kSA BandiT는 밴드 에지, 블랙바디, 파이로미터 온도 측정 기능을 통합합니다. kSA ICE는 KSA BandiT 기술을 통합합니다. kSA ICE는 단순한 웨이퍼 온도 이상의 측정이 가능한 모듈식 설계입니다. kSA SpectrumTemp는 절대 온도를 측정하고 파이로미터 보정에 사용할 수 있습니다. kSA Scanning Pyro는 MOCVD 시스템용으로 설계된 스캐닝 파이로미터입니다. 웨이퍼 및 필름 온도 측정에 가장 적합한 제품을 알아 보시려면 아래 각 제품을 참조하십시오.
웨이퍼 및 박막 온도
실시간 웨이퍼 온도 및 필름 온도 측정
kSA BandiT
밴드 엣지, 블랙바디, 파이로미터를 통한 실시간 측정으로 일반적으로 MBE, PLD, ALD, 스퍼터링, 전자빔 진공 증착 환경에서 사용됩니다.
kSA ICE
개별 ECP, 블랙바디 및/또는 밴드 엣지 모듈을 통한 실시간 모듈식 측정 장치로서 고속 또는 저속 회전과 제한된 광학 접근을 가진 MOCVD 쳄버에 사용하기에 매우 이상적입니다.
kSA SpectraTemp
반도체 웨이퍼, 금속, 세라믹, MOCVD 캐리어 기타 등의 절대 온도를 측정하는 실시간 장치입니다. 파이로미터 및 기타 블랙바디 유형의 소스를 검교정하는데 사용할 수 있습니다.
kSA ScanningPyro
Veeco K465i 및 EPIK700 웨이퍼 캐리어 및 웨이퍼에서 고해상도로 전체 온도 맵을 생성 할 때 사용하는 실시간 장치입니다. 공정 최적화를 수행 능력을 크게 향상 시킵니다.
질문 있으신가요?
귀하의 애플리케이션에 꼭 맞는 계측 솔루션을 통합하는 데 있어 궁금한 점이 있으시면 저희 k-Space 기술 영업 엔지니어들이 성심 성의껏 답변 드리겠습니다.
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