전자빔 증발은 고에너지 전자빔을 원재료 표적에 쏟아 부어 표적을 고진공 상태에서 높은 증기 압력으로 가열하여 물질이 기판에 원자 또는 분자 확산된 후 응결되어 증착됩니다. 스퍼터링이나 PLD와 마찬가지로 표면의 필름 특성과 관련된 중요한 실시간 정보는 적절한 계측 장치 사용을 통해 얻을 수 있습니다.