RHEED 전자총 및 형광 스크린이 장착된 시스템에 대한 RHEED(반사고속 전자선 회절) 패턴의 실시간 분석을 통한 실시간 측정 장치. 표면 품질은 RHEED 패턴 분석을 통해 결정됩니다. RHEED 총은 일반적으로 MBE와 PLD 증착쳄버에 설치되며 때때로 스퍼터 증착 챔버에 설치됩니다.

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갭 위 산란 신호(Above-gap scatter signal)를 통한 실시간 측정으로 일반적으로 MBE, PLD, ALD, 스퍼터링 및 전자빔 진공증착 환경에서 사용됩니다.

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실시간 모듈식 측정 장치로 갭 산란 신호(above gap scatter signal) 분석을 통한 표면 거칠기를 측정하고(밴드 엣지 모듈이 반드시 필요합니다), 고속 또는 저속 회전과 제한된 광학 접근을 가진 MOCVD 반응기에 사용하기 이상적입니다.

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