kSA MOS UltraScan 및 kSA MOS ThermalScan 시스템은 유연한 고해상도 스캔 곡률, 휨, 틸트 측정 시스템입니다. 검증된 특허 기술인 kSA MOS 기술을 기반으로 한 kSA MOS UltraScan은 레이저 배열을 사용하여 반도체 웨이퍼, 광학 거울, 유리, 렌즈 등의 광택을 낸 모든 표면의 2차원 곡률, 웨이퍼 곡률 및 스트레스를 맵핑합니다. 실온 측정은 kSAMOS UltraScan을 살펴 보십시오. 최대 1000°C의 온도에서 웨이퍼가 어떻게 변하는지 알아보려면 kSAMOS ThermalScan을 살펴보십시오. 두 가지 모두 완전 자동화된 스캔 시스템에서 웨이퍼의 3D 맵용2D 측정값을 제공합니다.

자세한 내용은 kSA MOS UltraScan 제품 사양 시트를 참조하십시오(영어) →
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