k-Space Integrated Control for Epitaxy 시스템(ICE)은 오늘날 MOCVD 및 MBE 반응기를 위해 설계된 모듈식 실시간 계측 장치입니다. kSA MOS, kSA BandiT, kSA RateRat Pro 특허 기술과 ECPR(Emissivity Corrected Pyrometry) 모듈을 결합했습니다. kSA ICE 모듈 디자인을 통해 사용자는 kSA ICE 구성에 사용할 모듈을 지정할 수 있습니다.
사용자가 측정해야 할 특성을 선택하면 k-Space는 사용자에게 적합한 모듈로 도구를 구성합니다. k-Space는 측정 요구 사항, 증착법, 챔버 구성 및 재료에 기반하여 각 도구에 대한 맞춤 견적을 냅니다.
kSA ICE 측정 시스템은 이러한 다양한 측정 모듈을 단일 광학 헤드에 통합함으로써 실시간 온도, 방사율, 성장율, 박막 두께, 기판 곡률 및 필름 스트레스를 측정할 수 있습니다. kSA ICE 장치는 최대 1,500RPM의 회전 속도에 대한 웨이퍼 분해 측정을 처리할 수 있습니다. 냉정함을 유지하면서 MOCVD 또는 MBE 공정에 대한 통찰력을 얻고, 장비 성능을 극대화하며, 공정 변화를 제한하여 kSA ICE를 통해 수율을 높이십시오.
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