kSA Emissometer사용 용도:
- 증착 실행 후 캐리어 베이크 품질 결정. 다음 제조 런(run)을 위한 특정 캐리어의 적합성에 대한 “Go-no-go” 결정을 내립니다.
- 특정 웨이퍼 캐리어 베이킹 후 필요한 온도 설정 값 조정 및 실제 표면 방사율의 정량적 결정합니다.
- SiC 코팅 내 미세 균열의 유무 및 심각도. 웨이퍼 캐리어의 유효 수명이 끝나는 시점에서의 폐기 결정 할 수 있습니다.
- 캐리어와 캐리어 배치 내에서의 방사율 균일성 검사를 통해 웨이퍼 캐리어 벤더의 자격 확인. 신규 웨이퍼 캐리어의 입고 품질 관리(QC)를 할 수 있습니다.
- 낭비되는 MOCVD 성장 런(growth run)의 방지합니다.