kSA 에미소메타는 MOCVD 캐리어의 고해상도 확산 및 스펙트럼 방사율 및 총 방사율 맵을 빠르고 쉽게 생성하도록 설계되었습니다. 캐리어 방사율 변동은 온도 불균일성을 의미하며, 이는 장비 수율을 감소시키고 완전한 성장 실행 실패를 초래할 수 있습니다. kSA 에미소메타 를 사용하면 방사율 변화를 추적하여 성장 런(growth run)낭비 없이 캐리어 사용 종료 시점을 결정할 수 있습니다. 또한 kSA 에미소메타 는 베이킹 후 불필요한 잔여 침전물을 감지하고, 눈에 보이지 않는 캐리어 표면 결함, 마찰 자국, 미세 균열 및 홈 자국을 쉽게 식별할 수 있습니다.kSA Emissometer사용 용도:
- 증착 실행 후 캐리어 베이크 품질 결정. 다음 제조 런(run)을 위한 특정 캐리어의 적합성에 대한 “Go-no-go” 결정을 내립니다.
- 특정 웨이퍼 캐리어 베이킹 후 필요한 온도 설정 값 조정 및 실제 표면 방사율의 정량적 결정합니다.
- SiC 코팅 내 미세 균열의 유무 및 심각도. 웨이퍼 캐리어의 유효 수명이 끝나는 시점에서의 폐기 결정 할 수 있습니다.
- 캐리어와 캐리어 배치 내에서의 방사율 균일성 검사를 통해 웨이퍼 캐리어 벤더의 자격 확인. 신규 웨이퍼 캐리어의 입고 품질 관리(QC)를 할 수 있습니다.
- 낭비되는 MOCVD 성장 런(growth run)의 방지합니다.
