필름 두께 및 증착률

박막 두께와 증착 속도를 아는 것은 연구 및 제조 시설 모두에 중요합니다. k-Space Associates는 kSA 400, kSA ICE, kSA BandiT, kSA MOS, 및 kSA RateRat Pro 를 포함하여 실시간 데이터 및 공정 관리에 사용할 수 있는 몇 가지 측정 방법을 보유하고 있습니다. RHEEaaD 분석을 위해 kSA 400은 업계 최고의 기술과 차별화된 기능을 제공합니다. kSA ICE는 MOCVD 공정에서 다른 특성들도 측정할 수 있는 모듈식 장치입니다. 파이로미터가 측정할 수 없는 범위의 온도 측정 이 필요한 경우 kSA BandiT가 적합한 장치입니다. 실시간 스트레스 측정이 필요한 경우 kSA MOS를 사용하실 수 있습니다. 모니터링 및 공정 관리에 필요한 조금 더 기본적인 장치는 kSA RateRat Pro를 추천합니다.

kSA 400 - RHEED Analysis System Main

kSA 400

RHEED 전자총 및 형광 스크린이 장착된 시스템에 대한 RHEED(반사고속 전자선 회절) 패턴의 실시간 분석을 통한 실시간 측정 장치. 표면 품질은 RHEED 패턴 분석을 통해 결정됩니다. RHEED 총은 일반적으로 MBE와 PLD 증착쳄버에 설치되며 때때로 스퍼터 증착 챔버에 설치됩니다.

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ICE Head on Reactor from Product Specs

kSA ICE

개별 ECP, MOS 및/또는 RateRat 모듈을 통한 실시간 모듈식 측정 장치 로서 고속 또는 저속 회전 및 제한된 광학 접근을 가진 MOCVD 증착쳄버에 사용하기 이상적인 장치입니다.

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kSA BandiT Chamber

kSA BandiT

갭 이하 스펙트럼 간섭 진동의 (below gap spectral interference oscillations) 실시간 분석을 통한 In-Situ 측정 장치입니다.

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Curvature and Stress Measurement Main

kSA MOS

MOS 소프트웨어 옵션은 박막 간섭무늬(interference fringes) 실시간 분석을 통한  실시간  측정을 제공합니다( RateRat 기술과 유사합니다.)

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kSA RateRat Pro Sensor

kSA RateRat Pro

증착 과정에서 박막 간섭진동(interference oscillations) 실시간 분석을 통한 실시간 측정 장치입니다.

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