사전 검교정없이 절대 온도를 측정한다고 상상해 보십시오. kSA SpectrumTemp를 사용하면 가능합니다.
kSA SpectraTemp는 절대 온도를 측정하는 사용하기 쉬운 비접촉 광학 기반의 온도 측정 및 검교정 장치입니다. 특허 받은 스펙트럼 방사선 프로파일 분석을 사용하여 kSA SpectraTemp는 물질 방사율에 대한 지식 또는 사전 온도 검교정 없이 절대 온도를 결정할 수 있습니다.
온도 측정에서 높은 정확도와 반복성을 달성하십시오.
시스템 다운타임 없이 각 성장 초기에 파이로미터 검교정, 블랙바디 소스 및 kSA ECP 모듈 검교정을 위한 간단한 솔루션입니다. 블랙바디 온도를 몇 초 내에 확인 하실 수 있습니다.
이 장비를 사용하여 사전 검교정 없이 MOCVD 웨이퍼 캐리어의 절대 온도를 측정하여 반응기 사이에 파이로미터를 검교정을 하는 데 사용 할 수 있습니다.

